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300mm CPM TOOL
12寸半自动抛光设备 TLT300MP
 
TLT300MP是根据当前实验室客户需求开发的实验用12英寸CMP设备。该设备拥有自主知识产权的创新技术,配备性能优越的抛光单元,兼容8/12英寸晶圆,适用于多种材质,可实现晶圆表面的超高平整度,工艺搭配灵活、满足高精度制程技术需求。

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