12寸全自动衬底抛光

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12寸全自动衬底抛光 JX300FP

JX300FP是一款12寸全自动Si衬底抛光设备可以满足客户高精度抛光需求提供专业的抛光工艺及定制化的接口对应各种工艺路线

高产能

通过8Head
3Platen的结构
有效提高生产产能
高精度

每个Head可分多个区域
进行精密加压
提高工件的平坦度
全功能

标配清洗机
根据工艺需求
可选配HPMJ、在线检测
自动化

SECE/GEM对应
服务快

24H×7天技术对应
2H内提供解决方案
2天内达到现场对应

+86-0510-81816658

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