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气相沉积设备LPCVD MM650
 
低压化学气相沉积设备,工艺成熟，稳定，较早用于TOPcon电池量产的LPCVD设备。

 

 

产能：

9400PCS/小时@182*182电池

产线平均良率较高，镀膜均匀性好；
自有专利的布气系统，增加了流场均匀性和可控性

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