松瓷第三代单晶炉:低氧型单晶炉是一种在惰性气体(气、氮气)环境中,用石墨加热器将多晶硅熔化,运用独特的拉晶工艺,用直拉法生长无错位低氧含量单晶的设备。

产品亮点

全自动化

引晶-放肩-转肩-等径-收尾
全自动拉晶

控径能力

≤±0.5mm

智能控温

自主研发独有热场
温度平稳控制

智能降氧

独有控氧功能模块
在不影响拉晶前提下
智能开启除氧功能

可定制化方案

针对不同尺寸炉型
设计匹配炉内管路开口位置
及流体管路走向
最大化程度带走氧杂质

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